في وقت مبكر من عام 1738، قام العالم السويسري دانييل برنولي بقياس تدفق المياه باستخدام طريقة الضغط التفاضلي المبنية على معادلة برنولي الأولى. وفي وقت لاحق، درس العالم الإيطالي جي بي فنتوري استخدام أنبوب فنتوري لقياس التدفق ونشر نتائجه في عام 1791.
وفي عام 1886، قام الأمريكي هيرشل بتطوير أنبوب الفنتوري ليصبح جهاز قياس عملي لتدفق المياه.
منذ أوائل القرن العشرين وحتى منتصفه، نضجت مبادئ القياس الأصلية تدريجيًا، ولم يعد الناس يقتصرون على تفكيرهم في الأساليب الحالية، بل بدأوا استكشافات جديدة.
في ثلاثينيات القرن العشرين، ظهرت طرق لقياس سرعة تدفق السوائل والغازات باستخدام الموجات الصوتية. في حين تم استكشاف طرق قياس التدفق باستخدام الموجات الصوتية، إلا أنها لم تحقق تقدمًا كبيرًا حتى الحرب العالمية الثانية. لم يكن الأمر كذلك حتى عام 1955 عندما تم تقديم مقياس التدفق ماكسون، باستخدام طريقة الدوران الصوتي، لقياس معدل تدفق وقود الطائرات.
منذ الستينيات فصاعدًا، بدأت أدوات القياس في التطور نحو الدقة والتصغير.
مع التطور السريع لتكنولوجيا الدوائر المتكاملة، تم استخدام أجهزة قياس التدفق بالموجات فوق الصوتية مع تقنية الحلقة المقفلة -الطورية على نطاق واسع. أدى التطبيق الواسع النطاق للحواسيب الصغيرة إلى تحسين القدرة على قياس التدفق. على سبيل المثال، يمكن لمقاييس السرعة دوبلر الليزرية معالجة إشارات أكثر تعقيدًا بعد تجهيزها بأجهزة كمبيوتر صغيرة.