مستشعر الضغط الضغطي
يعد مقياس سلالة المقاومة أحد المكونات الرئيسية لمستشعر الضغط التجويفى. يعتمد مبدأ عمل مقياس انفعال المقاومة المعدنية على ظاهرة تغير مقاومة مقياس الانفعال الممتص على الركيزة مع التشوه الميكانيكي، والمعروف باسم تأثير انفعال المقاومة.
مستشعر ضغط السيراميك
يعتمد مستشعر الضغط الخزفي على التأثير التجويف. يعمل الضغط مباشرة على السطح الأمامي للحجاب الحاجز الخزفي، مما يسبب تشوهًا طفيفًا. تتم طباعة طبقة مقاومة سميكة - على الجزء الخلفي من الحجاب الحاجز الخزفي، مما يشكل جسر ويتستون. بسبب تأثير المقاومة التجويفية للمقاومة التجويزية، يولد الجسر إشارة جهد خطية عالية تتناسب مع الضغط وتتناسب أيضًا مع جهد الإثارة. تتم معايرة الإشارات القياسية إلى 2.0/3.0/3.3 مللي فولت/فولت، وما إلى ذلك، اعتمادًا على نطاق الضغط، وهي متوافقة مع أجهزة استشعار قياس الضغط.
مستشعر ضغط السيليكون المنتشر
ويستند مبدأ العمل لمستشعر ضغط السيليكون المنتشر أيضًا على تأثير التجويف. باستخدام هذا المبدأ، يعمل ضغط الوسط المُقاس مباشرةً على غشاء المستشعر (الفولاذ المقاوم للصدأ أو السيراميك)، مما يتسبب في إزاحة صغيرة - للحجاب الحاجز بما يتناسب مع ضغط المتوسط. وينتج عن هذا تغيير في مقاومة المستشعر. تكتشف الدوائر الإلكترونية هذا التغيير وتخرج إشارة قياس قياسية تتوافق مع هذا الضغط.
مستشعر ضغط الياقوت
باستخدام مبدأ قياس الضغط، يستخدم هذا المستشعر ياقوت السيليكون- كعنصر استشعار لأشباه الموصلات، ويتمتع بخصائص مترولوجية لا مثيل لها. ولذلك، فإن عناصر استشعار أشباه الموصلات المصنوعة من السيليكون- الياقوت غير حساسة للتغيرات في درجات الحرارة وتظهر خصائص تشغيل ممتازة حتى في درجات الحرارة المرتفعة؛ يتمتع الياقوت بمقاومة إشعاعية قوية؛ علاوة على ذلك، فإن عناصر استشعار أشباه الموصلات المصنوعة من السيليكون- لا تحتوي على انجراف p-n.
مستشعر الضغط الكهرضغطي
التأثير الكهرضغطي هو مبدأ العمل الرئيسي لأجهزة الاستشعار الكهرضغطية. لا يمكن استخدام أجهزة الاستشعار الكهرضغطية لإجراء قياسات ثابتة لأن الشحنة بعد تطبيق قوة خارجية يتم الحفاظ عليها فقط عندما يكون للدائرة مقاومة دخل لا نهائية. وبما أن هذا ليس هو الحال في الواقع، فإن أجهزة الاستشعار الكهرضغطية يمكنها فقط قياس الضغط الديناميكي.